พื้นที่ฐานเรือควอตซ์ เป็นส่วนประกอบรองรับที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งออกแบบมาเพื่อเป็นรากฐานที่มั่นคงสําหรับเรือควอตซ์ในระหว่างการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และเวเฟอร์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ผลิตจากควอตซ์หลอมรวมที่ทนทาน ทนต่อความร้อนได้ดีเยี่ยม ความเฉื่อยของสารเคมี และความน่าเชื่อถือของโครงสร้างในระยะยาวภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูง

รูปทรงเรขาคณิตที่แม่นยําช่วยให้มั่นใจได้ถึงการจัดตําแหน่งที่เหมาะสมและการวางตําแหน่งที่ปลอดภัยของเรือควอตซ์ภายในระบบการแพร่กระจายและระบบเตาเผา LPCVD ส่งเสริมการให้ความร้อนของเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอและลดการสั่นสะเทือนหรือการกระจัดระหว่างการหมุนเวียนด้วยความร้อน พื้นผิวเรียบและเรียบช่วยลดการสร้างอนุภาคและรองรับการทํางานที่เข้ากันได้กับห้องปลอดเชื้อ

หน้าที่หลักของฐานเรือควอตซ์ในการผลิตเวเฟอร์

ฐานเรือควอตซ์มีบทบาทสําคัญในการแปรรูปเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยให้การสนับสนุนที่มั่นคงสําหรับเรือควอตซ์ที่บรรทุกเวเฟอร์ซิลิกอนในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่อุณหภูมิสูง ฐานเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาให้ทนต่ออุณหภูมิที่สูงเกินไปในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้าง เพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ในตําแหน่งที่ปลอดภัยตลอดกระบวนการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน การสะสม CVD และการหลอม

ฐานเรือควอตซ์ที่ได้รับการออกแบบมาอย่างเหมาะสมช่วยส่งเสริมการไหลของก๊าซและการกระจายความร้อนที่สม่ําเสมอ ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการบรรลุความหนาของชั้นที่สม่ําเสมอและลดความแปรผันของเวเฟอร์ต่อเวเฟอร์ ด้วยการกระจายก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอและรักษาเสถียรภาพทางความร้อน ฐานจะช่วยเพิ่มผลผลิตของกระบวนการและลดความเสี่ยงในการปนเปื้อน

โดยทั่วไปแล้วฐานเรือควอตซ์จะผลิตจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ํา ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม และทนต่อการกัดกร่อน ทําให้เหมาะสําหรับการหมุนเวียนความร้อนซ้ําๆ ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ มีการกําหนดค่าแบบกําหนดเองเพื่อให้ตรงกับระบบเตาเผาแนวตั้งหรือแนวนอน เพื่อให้มั่นใจว่าเข้ากันได้กับการตั้งค่าการจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติ

โดยสรุปฐานเรือควอตซ์เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเวเฟอร์ให้ความเสถียรทางกลความน่าเชื่อถือทางความร้อนและความสม่ําเสมอของกระบวนการสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ให้ผลผลิตสูง