พื้นที่ห้องควอตซ์ ทําหน้าที่เป็นกล่องหุ้มที่สําคัญสําหรับเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงอุณหภูมิสูงและการประมวลผลไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ห้องเพาะเลี้ยงทําจากควอตซ์หลอมรวมระดับพรีเมียม มีความทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน ความเฉื่อยของสารเคมี และความโปร่งใสของแสงที่ดีเยี่ยม ทําให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมที่ปราศจากการปนเปื้อนในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมของไอสารเคมี (CVD) การเกิดออกซิเดชัน และการแพร่กระจาย

ห้องเพาะเลี้ยงได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. ให้อุณหภูมิและการกระจายก๊าซที่สม่ําเสมอ ซึ่งจําเป็นต่อการบรรลุผลลัพธ์ของกระบวนการที่สม่ําเสมอและผลผลิตของอุปกรณ์สูง โครงสร้างทางวิศวกรรมที่แม่นยําทนทานต่อการหมุนเวียนความร้อนอย่างเข้มงวดในขณะที่ยังคงความสมบูรณ์ของโครงสร้างและลดการสร้างอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด

ห้องควอตซ์สําหรับการแกะสลักพลาสม่า: การรับรองความบริสุทธิ์ของกระบวนการ

ห้องควอตซ์มีบทบาทสําคัญในระบบการแกะสลักพลาสม่า ให้สภาพแวดล้อมเฉื่อยทางเคมีและเสถียรทางความร้อนที่จําเป็นสําหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยําสูง ห้องเหล่านี้สร้างจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูงป้องกันการกัดกร่อนจากก๊าซพลาสมาที่ทําปฏิกิริยาป้องกันการปนเปื้อนและรับประกันความทนทานในระยะยาวภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูง

พื้นผิวที่เรียบและมีอนุภาคต่ําของห้องควอตซ์ช่วยลดการสร้างอนุภาค ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการรักษาการแกะสลักที่สม่ําเสมอบนเวเฟอร์ การออกแบบการไหลของก๊าซที่เหมาะสมภายในห้องช่วยเพิ่มความสม่ําเสมอของกระบวนการและช่วยให้เกิดการกําจัดวัสดุที่สม่ําเสมอ ซึ่งมีความสําคัญอย่างยิ่งในการผลิต IC ขั้นสูง

การบํารุงรักษาเป็นประจํา รวมถึงการทําความสะอาดและการตรวจสอบ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าห้องเพาะเลี้ยงจะรักษาประสิทธิภาพสูงสุดตลอดรอบการแกะสลักซ้ําๆ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบห้องควอตซ์แบบกําหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการของเตาเผาและกระบวนการที่เฉพาะเจาะจงทําให้โรงงานเซมิคอนดักเตอร์มีความยืดหยุ่นในขณะที่เพิ่มผลผลิตเวเฟอร์และความสามารถในการทําซ้ําของกระบวนการ