พื้นที่เรือแก้วควอตซ์ใส ออกแบบมาสําหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูงของเวเฟอร์ขนาด 200 มม. ให้ทั้งความแม่นยําของโครงสร้างและความคมชัดของแสง ประดิษฐ์จากแก้วควอตซ์โปร่งใสที่มีความบริสุทธิ์สูงให้เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมการขยายตัวทางความร้อนต่ําและความต้านทานที่แข็งแกร่งต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและการปนเปื้อนของอนุภาค

ตัวเครื่องใสช่วยให้สามารถตรวจสอบตําแหน่งและสภาพของเวเฟอร์ได้ด้วยสายตาระหว่างการโหลดและการใช้งาน ซึ่งสนับสนุนการควบคุมคุณภาพโดยไม่รบกวนกระบวนการ รูปทรงเรขาคณิตที่ปรับให้เหมาะสมช่วยให้มั่นใจได้ถึงระยะห่างของเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอ เรือแก้วควอตซ์นี้เหมาะอย่างยิ่งสําหรับกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย LPCVD และการหลอม โดยผสมผสานความบริสุทธิ์ของวัสดุเข้ากับการมองเห็นกระบวนการ ทําให้เป็นโซลูชันที่เชื่อถือได้สําหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

ข้อดีของการใช้เรือแก้วควอตซ์ใส

ความบริสุทธิ์สูงสําหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

เรือแก้วควอตซ์ใสผลิตจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการปนเปื้อนน้อยที่สุดระหว่างกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และอีพิแทกซี ความบริสุทธิ์นี้ช่วยรักษาคุณภาพของเวเฟอร์และความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

ความโปร่งใสที่ดีเยี่ยม

โครงสร้างที่ชัดเจนช่วยให้ตรวจสอบเวเฟอร์ด้วยสายตาได้ง่ายในระหว่างการขนถ่าย ผู้ปฏิบัติงานและระบบอัตโนมัติสามารถตรวจสอบตําแหน่งเวเฟอร์ได้แม่นยํายิ่งขึ้น ซึ่งช่วยลดข้อผิดพลาดในการจัดการ

คุณสมบัติทางความร้อนที่เหนือกว่า

เรือควอตซ์สามารถทนต่ออุณหภูมิเตาเผาที่รุนแรงและความผันผวนของอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ให้ความต้านทานต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดี และรับประกันอายุการใช้งานที่ยาวนานในสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง

ความเสถียรและความแม่นยําของมิติ

เรือแก้วควอตซ์ใสได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยําเพื่อรักษาระยะห่างและการจัดตําแหน่งเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอ ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อความสม่ําเสมอของกระบวนการและผลผลิตเวเฟอร์

ความเข้ากันได้กับระบบการจัดการอัตโนมัติ

พื้นผิวเรียบและรูปทรงเรขาคณิตที่แม่นยําทําให้เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการขนถ่ายเวเฟอร์ด้วยหุ่นยนต์ ซึ่งรองรับระบบอัตโนมัติขั้นสูงในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์

ความเก่งกาจในกระบวนการต่างๆ

เรือควอตซ์ใสสามารถใช้ในการเกิดออกซิเดชัน การแพร่กระจาย LPCVD และกระบวนการเผาอื่นๆ ทําให้เป็นตัวเลือกที่หลากหลายสําหรับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ