ชื่อ:
ฐานควอตซ์ขนาด 8 นิ้ว
ฟังก์ชั่นและการประยุกต์ใช้:
แผ่นกั้นหลายอันวางอยู่ตรงกลางฐานเพื่อกระจายการไหลของก๊าซและให้แน่ใจว่ามีการสัมผัสกับเวเฟอร์ซิลิกอนที่มั่นคงภายในเรือควอตซ์ที่วางอยู่ด้านบน ใช้ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน การสะสม CVD และการหลอม ซึ่งเป็นกระบวนการที่อุณหภูมิสูง
ข้อกําหนดด้านประสิทธิภาพ:
ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม พื้นผิวพ่นทราย และปริมาณสิ่งเจือปนต่ํา
No.5177 Qianghua West Road, Dongqian Street, Nanxun District, เมืองหูโจว, มณฑลเจ้อเจียง
+86-572-3032373
+86-572-3033016
พื้นที่แท่นควอตซ์หลอมรวม เป็นส่วนประกอบสนับสนุนที่สําคัญที่ออกแบบมาสําหรับอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ที่อุณหภูมิสูง ทําจากควอตซ์หลอมรวมบริสุทธิ์พิเศษ ให้ความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน ความเฉื่อยของสารเคมี และความทนทานทางกลที่ดีเยี่ยมภายใต้การหมุนเวียนความร้อนที่เข้มงวด
แท่นนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงตําแหน่งที่มั่นคงและแม่นยําของเวเฟอร์หรือเรือควอตซ์ภายในการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน LPCVD และเตาหลอม ออกแบบมาเพื่อความเข้ากันได้กับเรือควอตซ์ขนาด 8 นิ้วและระบบเตาเผาที่หลากหลายแท่นควอตซ์แบบหลอมรวมรองรับการประมวลผลที่เชื่อถือได้และปราศจากการปนเปื้อนซึ่งจําเป็นสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
แท่นควอตซ์หลอมรวมที่ทนทานทนต่อการหมุนเวียนความร้อนซ้ําๆ และการสัมผัสสารเคมี ช่วยลดการแตกหักและการเสียรูป การเปลี่ยนทดแทนที่น้อยลงหมายถึงต้นทุนการจัดซื้อที่ลดลงเมื่อเวลาผ่านไป
แท่นที่เชื่อถือได้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงตําแหน่งเวเฟอร์ที่มั่นคงและการไหลของก๊าซที่สม่ําเสมอ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการปิดเตาเผาที่เกิดจากความล้มเหลวของแท่น เวลาหยุดทํางานที่น้อยลงจะส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตสูงขึ้นและการประหยัดต้นทุนโดยตรง
ควอตซ์หลอมคุณภาพสูงต้านทานการกัดกร่อนและการปนเปื้อน ช่วยลดความจําเป็นในการทําความสะอาดและบํารุงรักษา ทีมซ่อมบํารุงสามารถมุ่งเน้นไปที่งานสําคัญอื่นๆ ช่วยประหยัดค่าแรง
แท่นที่มั่นคงช่วยรักษาการกระจายความร้อนและระยะห่างที่สม่ําเสมอลดข้อบกพร่องของเวเฟอร์และเพิ่มผลผลิต ผลผลิตที่สูงขึ้นช่วยลดวัสดุที่สิ้นเปลืองและเพิ่มผลกําไรโดยรวม
แม้ว่าแท่นควอตซ์หลอมรวมที่ทนทานอาจมีต้นทุนเริ่มต้นที่สูงกว่า แต่อายุการใช้งานที่ยาวนาน เสถียรภาพด้านประสิทธิภาพ และการลดค่าใช้จ่ายทางอ้อมส่งผลให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้รับผลตอบแทนจากการลงทุนที่ดี