พื้นที่หมวกควอตซ์หลอมรวม เป็นส่วนประกอบทางวิศวกรรมที่ออกแบบมาเพื่อปิดผนึกท่อควอตซ์ เครื่องปฏิกรณ์ และเรือเวเฟอร์อย่างปลอดภัยในระหว่างการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ที่อุณหภูมิสูง ทําจากควอตซ์หลอมที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ หมวกเหล่านี้ให้ความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน เสถียรภาพทางเคมี และความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม

พวกเขาช่วยให้มั่นใจได้ถึงการปิดผนึกที่แน่นหนาและปราศจากการปนเปื้อนซึ่งป้องกันการรั่วไหลของก๊าซและรักษาความสมบูรณ์ของสภาพแวดล้อมของกระบวนการในระหว่างการเกิดออกซิเดชันการแพร่กระจาย LPCVD และการหลอม ความทนทานของฝาปิดช่วยให้สามารถหมุนเวียนความร้อนซ้ําได้โดยไม่เสียรูป

ปัญหาทั่วไปในฝาควอตซ์หลอมรวมและวิธีหลีกเลี่ยง

1. การแตกร้าวเนื่องจากความร้อนช็อต

สาเหตุ:การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วหรือความร้อนไม่สม่ําเสมอ

การป้องกัน:เปิดเตาเผาทีละน้อยและให้แน่ใจว่ามีการกระจายอุณหภูมิสม่ําเสมอ ใช้ควอตซ์หลอมรวมคุณภาพสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อปรับปรุงความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อน

2. การปนเปื้อนบนพื้นผิว

สาเหตุ:อนุภาคสารเคมีตกค้างหรือสิ่งสกปรกจากก๊าซในกระบวนการ

การป้องกัน:ทําความสะอาดฝาปิดก่อนใช้ด้วยสารเคมีบริสุทธิ์พิเศษ รักษาสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อ และหลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยตรงกับพื้นผิวที่ปนเปื้อน

3. การเสียรูปหรือการบิดเบี้ยว

สาเหตุ:ความเครียดเชิงกลมากเกินไปหรือการสัมผัสกับอุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน

การป้องกัน:ใช้ฝาปิดที่ออกแบบมาอย่างแม่นยําซึ่งออกแบบมาสําหรับประเภทเตาเผาของคุณ และหลีกเลี่ยงการขันแน่นเกินไปหรือการติดตั้งที่ไม่เหมาะสม

4. การกัดเซาะของสารเคมี

สาเหตุ:ก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์รุนแรงหรือการสัมผัสกับอุณหภูมิสูงซ้ําๆ

การป้องกัน:เลือกควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูงและทนต่อการกัดกร่อน และตรวจสอบสภาพแวดล้อมทางเคมีในเตาเผา

5. การเยื้องศูนย์ในเตาเผา

สาเหตุ:ฝาปิดที่ติดตั้งไม่ดีอาจทําให้เกิดการกระจายความร้อนที่ไม่สม่ําเสมอและปัญหาการไหลของก๊าซ

การป้องกัน:ตรวจสอบให้แน่ใจว่าฝาปิดตรงกับข้อกําหนดของเตาเผาและตรวจสอบการจัดตําแหน่งก่อนดําเนินการทุกกระบวนการ