พื้นที่เรือควอตซ์แนวนอน สร้างขึ้นเพื่อการจัดการเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและแม่นยําในระบบเตาแนวนอน ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายสําหรับกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และการหลอมในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. ทําจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้เสถียรภาพทางความร้อน ทนต่อการกัดกร่อน และความแม่นยําของมิติที่โดดเด่น

การออกแบบแนวนอนช่วยให้มั่นใจได้ถึงการจัดตําแหน่งและระยะห่างของเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอตามแกนท่อเตาเผา ทําให้ไดนามิกการไหลของก๊าซเหมาะสมที่สุดและการบําบัดความร้อนที่สม่ําเสมอในแต่ละเวเฟอร์ โครงสร้างที่แข็งแรงและมีการปนเปื้อนต่ําช่วยลดการเสียรูปภายใต้อุณหภูมิสูง ช่วยรักษาความสมบูรณ์ของกระบวนการและลดการสร้างอนุภาค

การใช้เรือควอตซ์แนวนอนในการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และ CVD

เรือควอตซ์แนวนอนเป็นเครื่องมือสําคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาเพื่อยึดและขนส่งเวเฟอร์อย่างปลอดภัยในระหว่างกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD เรือเหล่านี้ทําจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการปนเปื้อนน้อยที่สุด โดยรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนตลอดกระบวนการ

การวางแนวนอนช่วยให้เวเฟอร์วางราบ ส่งเสริมการกระจายความร้อนที่สม่ําเสมอและการสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอ การออกแบบนี้ช่วยลดการไล่ระดับอุณหภูมิ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการเจือปนหรือการเกิดออกซิเดชันที่สม่ําเสมอ และปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการโดยรวม พื้นผิวที่เรียบและมีสิ่งเจือปนต่ําช่วยลดการสร้างอนุภาค สนับสนุนมาตรฐานห้องปลอดเชื้อ และปกป้องพื้นผิวเวเฟอร์ที่บอบบาง

เรือควอตซ์แนวนอนคุณภาพสูงที่ทนทานและเสถียรต่อความร้อนทนต่อการหมุนเวียนความร้อนซ้ํา ๆ โดยไม่บิดเบี้ยวหรือแตกร้าว ด้วยการเลือกเรือควอตซ์แนวนอนที่เหมาะสม โรงงานเซมิคอนดักเตอร์และสิ่งอํานวยความสะดวกด้านการวิจัยสามารถปรับความสม่ําเสมอของเวเฟอร์ให้เหมาะสม