พื้นที่ท่อด้านในควอตซ์ระบายอากาศ ออกแบบมาสําหรับการควบคุมการไหลของก๊าซที่แม่นยําและการแยกความร้อนภายในระบบเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ ทําจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง มีความทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน การกัดกร่อนของสารเคมี และการปนเปื้อนของอนุภาคได้ดีเยี่ยม จึงเหมาะอย่างยิ่งสําหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง

ในฐานะที่เป็นส่วนประกอบภายในของโครงสร้างเตาเผาแบบท่อคู่ ท่อควอตซ์นี้จะนําก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์ในขณะที่ยังคงแยกออกจากผนังเตาเผา รูปทรงเรขาคณิตที่ปรับให้เหมาะสมช่วยเพิ่มการไหลของลามินาร์ ลดเอฟเฟกต์ของชั้นขอบเขต และรองรับผลการสะสมหรือการแพร่กระจายที่สม่ําเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ขนาด 200 มม.

การเพิ่มประสิทธิภาพผลผลิตเวเฟอร์โดยใช้ท่อด้านในควอตซ์ระบายอากาศ

ท่อด้านในควอตซ์ระบายอากาศเป็นส่วนประกอบสําคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาเพื่อให้มั่นใจว่าการไหลของก๊าซมีเสถียรภาพและสม่ําเสมอภายในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง ด้วยการส่งเสริมการสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอหลอดเหล่านี้จะช่วยรักษาความสม่ําเสมอทางความร้อนของเวเฟอร์ทั้งหมดลดข้อบกพร่องและปรับปรุงผลผลิตโดยรวม

ทําจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง ยางในต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมี การกระแทกจากความร้อน และการปนเปื้อนของอนุภาค ปกป้องเวเฟอร์ที่บอบบางในระหว่างการแพร่กระจาย การติดตั้งที่เหมาะสมการบํารุงรักษาเป็นประจําและการออกแบบที่แม่นยําช่วยเพิ่มการกระจายก๊าซลดความแปรผันของเวเฟอร์ต่อเวเฟอร์และให้ผลลัพธ์คุณภาพสูงที่ทําซ้ําได้

การใช้ท่อด้านในควอตซ์ระบายอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพช่วยให้โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ได้รับผลผลิตที่สูงขึ้นรักษาความสม่ําเสมอของกระบวนการและรักษามาตรฐานห้องปลอดเชื้อที่เข้มงวด