แผ่นกั้นควอตซ์อุณหภูมิสูงเป็นส่วนประกอบสําคัญที่ออกแบบมาเพื่อควบคุมและกระจายก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอภายในเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างการทํางานที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD แผ่นกั้นเหล่านี้ช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่และการสัมผัสก๊าซที่สม่ําเสมอในเวเฟอร์ทั้งหมดในเรือควอตซ์ ช่วยเพิ่มความสม่ําเสมอของกระบวนการและคุณภาพของเวเฟอร์

สร้างจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง แผ่นกั้นเหล่านี้มีความเสถียรทางความร้อน ทนต่อการกัดกร่อน และมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ํา ซึ่งจําเป็นสําหรับการแปรรูปที่ปราศจากการปนเปื้อน พื้นผิวพ่นทรายช่วยลดการสร้างอนุภาคและปรับปรุงประสิทธิภาพการระบายความร้อน แผ่นกั้นควอตซ์เหล่านี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้ทนต่อการหมุนเวียนความร้อนอย่างเข้มงวด เหมาะอย่างยิ่งสําหรับทั้งสภาพแวดล้อมการผลิตและการใช้งานวิจัยที่ต้องการการควบคุมการไหลของก๊าซที่แม่นยําและความสม่ําเสมอของอุณหภูมิ

ปัญหาทั่วไปเกี่ยวกับแผ่นกั้นควอตซ์และวิธีป้องกัน

1. ความเครียดจากความร้อนและการแตกร้าว

รอบการให้ความร้อนและความเย็นซ้ําๆ อาจทําให้เกิดความเครียดจากความร้อน ซึ่งนําไปสู่รอยแตกหรือแตกหักในแผ่นกั้นควอตซ์

การป้องกัน:ใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ํา และให้แน่ใจว่าสามารถควบคุมอัตราการเพิ่มและเย็นลงในการทํางานของเตาเผา

2. การบิดเบี้ยวหรือการเสียรูป

การติดตั้งที่ไม่เหมาะสมหรือความเครียดเชิงกลที่มากเกินไปอาจทําให้แผ่นกั้นบิดเบี้ยว ส่งผลต่อการไหลของก๊าซและการจัดตําแหน่งเวเฟอร์

การป้องกัน:จับแผ่นกั้นอย่างระมัดระวังระหว่างการติดตั้งและการออกแบบเพื่อให้ได้ความหนาและโครงสร้างรองรับที่เหมาะสม

3. การปนเปื้อนบนพื้นผิว

คราบสกปรกจากก๊าซในกระบวนการหรือฝุ่นละอองสามารถสะสมบนพื้นผิวแผ่นกั้น ซึ่งส่งผลต่อความสม่ําเสมอทางความร้อนและความบริสุทธิ์ของเวเฟอร์

การป้องกัน:ทําความสะอาดเป็นประจําโดยใช้วิธีการที่ไม่กัดกร่อนที่เหมาะสมและรักษามาตรฐานห้องปลอดเชื้อ

4. การเยื้องศูนย์ในเตาเผา

การวางตําแหน่งของแผ่นกั้นที่ไม่ถูกต้องอาจขัดขวางการกระจายการไหลของก๊าซ

การป้องกัน:ตรวจสอบให้แน่ใจว่าได้จัดตําแหน่งที่แม่นยํากับเรือเวเฟอร์และตัวกั้นเตาเผาระหว่างการติดตั้ง

5. การกัดเซาะของสารเคมี

การสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์รุนแรงเมื่อเวลาผ่านไปสามารถกัดเซาะพื้นผิวควอตซ์ได้อย่างช้าๆ

การป้องกัน:เลือกควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและทนต่อการกัดกร่อน และตรวจสอบสภาพของแผ่นกั้นอย่างสม่ําเสมอ

ด้วยการทําความเข้าใจปัญหาทั่วไปเหล่านี้และใช้มาตรการป้องกันผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถรักษาประสิทธิภาพสูงสุดของแผ่นกั้นควอตซ์เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอผลผลิตของกระบวนการที่ดีขึ้นและอายุการใช้งานของส่วนประกอบที่ยาวนานขึ้น