ชื่อ:
ที่วางเรือควอตซ์ขนาด 6 นิ้ว
ฟังก์ชั่นและการประยุกต์ใช้:
เรือควอตซ์ทําหน้าที่เป็นผู้ให้บริการสําหรับการขนส่งและแปรรูปเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ มันถูกเกี่ยวด้วยตะขอควอตซ์ที่แกนกลางและลูกกลิ้งด้านล่างจะหมุนเพื่อขับเคลื่อนการเคลื่อนที่ของที่วางเรือ ใช้ในกระบวนการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการสะสม CVD ในการผลิตเวเฟอร์ ซึ่งเป็นกระบวนการที่อุณหภูมิสูง
ข้อกําหนดด้านประสิทธิภาพ:
ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ความโปร่งใสของแสงสูง และปริมาณสิ่งเจือปนต่ํา
No.5177 Qianghua West Road, Dongqian Street, Nanxun District, เมืองหูโจว, มณฑลเจ้อเจียง
+86-572-3032373
+86-572-3033016
พื้นที่ผู้ถือเรือซิลิกาควอตซ์หลอมรวมเป็นส่วนประกอบทางวิศวกรรมที่มีความแม่นยําซึ่งออกแบบมาเพื่อบรรทุกและขนส่งเรือควอตซ์เซมิคอนดักเตอร์อย่างปลอดภัยในระหว่างกระบวนการผลิตเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD พร้อมกับตะขอควอตซ์บนแกนกลางและลูกกลิ้งด้านล่างช่วยให้การเคลื่อนไหวที่ราบรื่นและควบคุมได้ของที่วางเรือภายในท่อเตาเผาอํานวยความสะดวกในการประมวลผลแบทช์ที่มีประสิทธิภาพ
สร้างจากซิลิกาหลอมรวมบริสุทธิ์พิเศษ ตัวยึดนี้มีเสถียรภาพทางความร้อน ทนต่อการกัดกร่อน และความโปร่งใสทางแสงสูง ปริมาณสิ่งเจือปนต่ําช่วยให้มั่นใจได้ถึงการปนเปื้อนน้อยที่สุดรักษามาตรฐานห้องปลอดเชื้อและปกป้องความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ในระหว่างรอบการระบายความร้อนที่สําคัญ การออกแบบที่แข็งแกร่งรับประกันการทํางานที่เชื่อถือได้ภายใต้สภาวะที่รุนแรง ทําให้เป็นองค์ประกอบสําคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
ที่ยึดเรือซิลิกาควอตซ์แบบหลอมรวมเป็นส่วนประกอบสําคัญในการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง ความบริสุทธิ์สูง เสถียรภาพทางความร้อน และปริมาณสิ่งเจือปนต่ําช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ซิลิกอนได้รับการสนับสนุนและป้องกันการปนเปื้อนอย่างปลอดภัย
การรวมตัวยึดเหล่านี้เข้ากับระบบการจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและความสามารถในการทําซ้ํา การจัดตําแหน่งที่เหมาะสมและความเข้ากันได้ของตัวจับยึดกับแขนหุ่นยนต์หรือระบบสายพานลําเลียงช่วยลดความเสียหายของเวเฟอร์ ลดการสร้างอนุภาค และรับประกันการสัมผัสความร้อนที่สม่ําเสมอ การเลือกตัวยึดซิลิกาหลอมรวมที่เหมาะสมสําหรับเตาเผาเฉพาะและการตั้งค่าระบบอัตโนมัติเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการรักษาผลผลิตสูงและการแปรรูปเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอ
ตัวจับยึดคุณภาพสูงที่มีขนาดที่แม่นยําและพื้นผิวเรียบยังช่วยลดความยุ่งยากในการขนถ่ายอัตโนมัติ