ชื่อ:

ชุดเรือควอตซ์ 6 นิ้ว

ฟังก์ชั่นและการประยุกต์ใช้:

ซีรีส์นี้ประกอบด้วยเรือควอตซ์หลากหลายประเภท เช่น เรือกรง เรือกั้น เรือฐาน และเรือเวเฟอร์มาตรฐาน ซึ่งออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์ซิลิกอนในระหว่างกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน การสะสม CVD และการทําความสะอาดเวเฟอร์ รูปร่างและโครงสร้างที่แตกต่างกันเหล่านี้ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของก๊าซ ความสม่ําเสมอทางความร้อน และความเสถียรของเวเฟอร์ในการใช้งานด้านการผลิตและการวิจัยที่หลากหลาย

ข้อกําหนดด้านประสิทธิภาพ:

โครงสร้างควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมทนต่อการกัดกร่อนและมีสิ่งสกปรกต่ํา การออกแบบที่แข็งแกร่งเพื่อทนต่อการหมุนเวียนความร้อนซ้ําๆ พื้นผิวเรียบขัดเงาหรือพ่นทรายเพื่อลดการสร้างอนุภาคและการปนเปื้อนทําให้มั่นใจได้ว่าเข้ากันได้กับระบบจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติและเตาเผาประเภทต่างๆ