พื้นที่เรือซิลิกาหลอมรวมแผ่นโค้งเป็นผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่มีความแม่นยําสูงซึ่งออกแบบมาสําหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่เกี่ยวข้องกับการประมวลผลแบทช์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD เรือลํานี้ผลิตจากซิลิกาหลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูงให้เสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมการขยายตัวทางความร้อนน้อยที่สุดและทนต่อการกัดกร่อนและแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม

โครงสร้างแผ่นโค้งงอให้การรองรับเวเฟอร์ที่มั่นคงและช่วยเพิ่มการไหลของก๊าซและการถ่ายเทความร้อนที่สม่ําเสมอภายในท่อเตาเผา พื้นผิวที่เรียบและสะอาดช่วยลดการสร้างอนุภาค ในขณะที่ความโปร่งใสทางแสงสูงของวัสดุรองรับการตรวจสอบด้วยสายตาเมื่อจําเป็น ออกแบบมาเพื่อการจัดตําแหน่งเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอและมีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนต่ําเรือแผ่นซิลิกาแบบหลอมรวมเป็นไปตามข้อกําหนดที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงห้องปฏิบัติการวิจัยและสายนําร่อง

ทําไมถึงเรียกว่าเรือควอตซ์แผ่นโค้ง?

คําว่า "เรือควอตซ์แผ่นโค้ง" มาจากทั้งวัสดุและรูปร่างการออกแบบ:

ควอตซ์:เรือทําจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (ซิลิกาหลอมรวม) ซึ่งเป็นวัสดุที่มีค่าในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ทนต่อสารเคมี และมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ํา

แผ่นโค้ง:การออกแบบนี้มีแผ่นที่โค้งงอหรือโค้งเป็นรูปโค้ง โครงสร้างแผ่นโค้งงอ (โค้ง) นี้ช่วยปรับปรุงการกระจายการไหลของก๊าซและความสม่ําเสมอทางความร้อนรอบเวเฟอร์ในระหว่างการแปรรูปที่อุณหภูมิสูง ความโค้งช่วยให้เวเฟอร์สัมผัสกับก๊าซในกระบวนการได้ดีขึ้นและการกระจายความร้อนที่สม่ําเสมอยิ่งขึ้น

เรือ:ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ "เรือ" เป็นคําศัพท์ในอุตสาหกรรมสําหรับผู้ให้บริการหรือฟิกซ์เจอร์ที่ยึดเวเฟอร์อย่างแน่นหนาระหว่างการประมวลผลเตาเผาหรือหลอดกระจาย

ดังนั้น "เรือควอตซ์แผ่นโค้ง" จึงหมายถึงผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่ใช้ควอตซ์อย่างแท้จริงที่มีการออกแบบแผ่นโค้งงอ (โค้ง) ซึ่งปรับให้เหมาะสมสําหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง