พื้นที่แผ่นกั้นควอตซ์มีพื้นผิวพ่นทรายฝ้าที่ออกแบบมาเพื่อให้เป็นฉนวนกันความร้อนที่มีประสิทธิภาพภายในท่อเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูง โครงสร้างประกอบด้วยท่อขนาดเล็กเพื่ออํานวยความสะดวกในการฉีดก๊าซในกระบวนการที่จําเป็นสําหรับการผลิตเวเฟอร์อย่างแม่นยํา เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD

สร้างจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูงแผ่นกั้นนี้มีความทนทานต่อความร้อนการกัดกร่อนของสารเคมีและการกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยมในขณะที่รักษาระดับสิ่งเจือปนต่ําเพื่อลดความเสี่ยงในการปนเปื้อน พื้นผิวพ่นทรายช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการระบายความร้อนและลดการสร้างอนุภาค เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการควบคุมอุณหภูมิที่เสถียรและการกระจายก๊าซที่สม่ําเสมอตลอดกระบวนการ เหมาะอย่างยิ่งสําหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์และห้องปฏิบัติการ R&D แผ่นกั้นควอตซ์ช่วยปรับปรุงความสม่ําเสมอของกระบวนการและคุณภาพของเวเฟอร์

แผ่นกั้นควอตซ์ปรับปรุงความสม่ําเสมอและผลผลิตของเวเฟอร์ได้อย่างไร

1. มั่นใจในการไหลของก๊าซที่สม่ําเสมอ

แผ่นกั้นควอตซ์นําทางก๊าซในกระบวนการอย่างสม่ําเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ทั้งหมด ด้วยการป้องกันความปั่นป่วนของก๊าซเฉพาะที่จะช่วยรักษาปฏิกิริยาทางเคมีที่สม่ําเสมอและการสะสมของชั้นซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของเวเฟอร์ต่อเวเฟอร์

2. การควบคุมการกระจายความร้อน

แผ่นกั้นสะท้อนและกระจายพลังงานความร้อน ลดจุดร้อนและการแผ่รังสีโดยตรงบนพื้นผิวเวเฟอร์ การกระจายอุณหภูมิที่สม่ําเสมอนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการสะสมที่แม่นยํา ช่วยปกป้องเวเฟอร์จากความเครียดจากความร้อน

3. การป้องกันการปนเปื้อน

การออกแบบที่แม่นยําของแผ่นกั้นควอตซ์ช่วยลดการสร้างอนุภาคและการไหลย้อนกลับของผลพลอยได้จากกระบวนการ สภาพแวดล้อมการประมวลผลที่สะอาดขึ้นมีส่วนช่วยให้ผลผลิตสูงขึ้นและอัตราข้อบกพร่องที่ต่ําลง

4. ความเข้ากันได้กับระบบอัตโนมัติ

แผ่นกั้นควอตซ์คุณภาพสูงผลิตขึ้นด้วยความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวด เพื่อให้มั่นใจได้ถึงการจัดตําแหน่งที่เหมาะสมและการรวมเข้ากับผู้ให้บริการเวเฟอร์และระบบการจัดการอัตโนมัติ

ด้วยการเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของก๊าซและความสม่ําเสมอทางความร้อนในขณะที่ลดความเสี่ยงในการปนเปื้อนแผ่นกั้นควอตซ์มีบทบาทสําคัญในการปรับปรุงความสม่ําเสมอของเวเฟอร์และเพิ่มผลผลิตเซมิคอนดักเตอร์