แผ่นกั้นควอตซ์สําหรับเตาแนวนอนเป็นส่วนประกอบพิเศษที่ออกแบบมาเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายความร้อนและปกป้องเวเฟอร์ซิลิกอนในระหว่างกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD แผ่นกั้นเหล่านี้ทําจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง สะท้อนและกระจายพลังงานความร้อนภายในท่อเตาเผา ช่วยขจัดฮอตสปอตเฉพาะที่และรับประกันการสัมผัสความร้อนที่สม่ําเสมอในเวเฟอร์ทั้งหมด

แผ่นกั้นจะช่วยลดการแผ่รังสีโดยตรงบนพื้นผิวเวเฟอร์ ซึ่งจะช่วยลดความเครียดจากความร้อนและปรับปรุงความสม่ําเสมอของกระบวนการโดยรวม การชุบผิวพ่นทรายช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการระบายความร้อนในขณะที่ลดการสร้างอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด ด้วยความต้านทานต่อความร้อนการกัดกร่อนของสารเคมีและการกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยมและมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ําเป็นพิเศษแผ่นกั้นควอตซ์เหล่านี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการตั้งค่าเตาเผาแนวนอนทั้งในสภาพแวดล้อมการผลิตและการวิจัยและพัฒนา

เตาแนวนอนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?

เตาแนวนอนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นอุปกรณ์แปรรูปที่อุณหภูมิสูงชนิดหนึ่งที่เวเฟอร์ถูกโหลดในแนวนอนลงในเตาเผาแบบท่อยาว มีการใช้กันอย่างแพร่หลายสําหรับกระบวนการระบายความร้อน เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน การหลอม และการสะสมไอเคมี (CVD)

ลักษณะสําคัญ

• การโหลดแนวนอน:เวเฟอร์ถูกวางไว้บนเรือควอตซ์หรือผู้ให้บริการและใส่ในแนวนอนเข้าไปในท่อเตาเผาทําให้สามารถประมวลผลเวเฟอร์หลายแผ่นพร้อมกันได้
• การควบคุมอุณหภูมิสม่ําเสมอ:เตาเผามีสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิที่ควบคุมได้และมีเสถียรภาพ ซึ่งจําเป็นสําหรับการแพร่กระจายของสารเจือปนการเจริญเติบโตของออกไซด์ หรือการสะสมของฟิล์มที่แม่นยํา
• บรรยากาศควบคุม:การไหลของก๊าซ (เช่น ออกซิเจน ไนโตรเจน ก๊าซเจือปน) ได้รับการควบคุมอย่างแม่นยําเพื่อให้แน่ใจว่ามีเคมีในกระบวนการที่สอดคล้องกันในเวเฟอร์ทั้งหมด
• ประสิทธิภาพการประมวลผลแบทช์:·เปิดใช้งานปริมาณงานสูงโดยการประมวลผลเวเฟอร์จํานวนมากในครั้งเดียวซึ่งมักใช้ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์สําหรับการผลิตในปริมาณมาก

เหตุใดเตาเผาแนวนอนจึงมีความสําคัญ

• ช่วยให้สามารถบําบัดความร้อนได้อย่างสม่ําเสมอซึ่งมีความสําคัญต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์
• การออกแบบแนวนอนช่วยลดความยุ่งยากในการโหลด/ขนถ่ายและบํารุงรักษาเวเฟอร์
• เข้ากันได้กับกระบวนการระบายความร้อนที่หลากหลายที่จําเป็นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เตาเผาแนวนอนเป็นอุปกรณ์ที่จําเป็นสําหรับกระบวนการระบายความร้อนปริมาณมากที่เชื่อถือได้ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์