แผ่นกั้นควอตซ์ Thermal-Shieldเป็นส่วนประกอบทางวิศวกรรมที่มีความแม่นยําซึ่งออกแบบมาเพื่อปรับปรุงการกระจายความร้อนและปกป้องเวเฟอร์ซิลิกอนจากการแผ่รังสีโดยตรงและความร้อนสูงเกินไปเฉพาะที่ในระหว่างกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การแพร่กระจาย การเกิดออกซิเดชัน และการสะสม CVD ด้วยการสะท้อนและกระจายพลังงานความร้อนภายในเตาเผาแผ่นกั้นเหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงโปรไฟล์อุณหภูมิที่สม่ําเสมอมากขึ้นลดความเครียดจากความร้อนและเพิ่มคุณภาพของเวเฟอร์

แผ่นกั้นผลิตจากควอตซ์หลอมรวมที่มีความบริสุทธิ์สูง มีการรักษาพื้นผิวพ่นทรายที่ช่วยลดการสร้างอนุภาคและปรับปรุงประสิทธิภาพการระบายความร้อน ด้วยความต้านทานที่ดีเยี่ยมต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนของสารเคมีรวมถึงระดับสิ่งเจือปนต่ําแผ่นกั้นควอตซ์ Thermal-Shield ให้การทํางานที่ทนทานปราศจากการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูงในห้องปลอดเชื้อซึ่งมีส่วนช่วยในการปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

ปัญหาทั่วไปเกี่ยวกับแผ่นกั้นควอตซ์ Thermal-Shield และการป้องกัน

1. การแตกร้าวจากความเครียดจากความร้อน

รอบการให้ความร้อนและความเย็นซ้ําๆ อาจทําให้เกิดรอยแตกขนาดเล็กหรือการแตกหักในแผ่นกั้นควอตซ์

การป้องกัน:ใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ํา และใช้อัตราการเพิ่มและคูลดาวน์ที่ควบคุมได้ในเตาเผา

2. การบิดเบี้ยวหรือการเสียรูป

การจัดการหรือการติดตั้งที่ไม่เหมาะสมอาจทําให้แผ่นกั้นบิดเบี้ยว ขัดขวางการไหลของก๊าซและความสม่ําเสมอทางความร้อน

การป้องกัน:ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการสนับสนุนและระยะห่างที่ถูกต้อง หลีกเลี่ยงความเครียดเชิงกลที่มากเกินไประหว่างการติดตั้ง

3. การปนเปื้อนบนพื้นผิว

คราบสกปรกจากก๊าซหรืออนุภาคในกระบวนการสามารถสะสม ทําให้ประสิทธิภาพเชิงความร้อนลดลงและทําให้เกิดการปนเปื้อน

การป้องกัน:ทําความสะอาดแผ่นกั้นอย่างสม่ําเสมอโดยใช้วิธีการที่ไม่กัดกร่อนและรักษาโปรโตคอลห้องปลอดเชื้อที่เข้มงวด

4. การเยื้องศูนย์ในเตาเผา

การวางตําแหน่งที่ไม่ถูกต้องอาจทําให้เกิดการไหลของก๊าซที่ไม่สม่ําเสมอและความร้อนสูงเกินไปเฉพาะที่

การป้องกัน:จัดแนวแผ่นกั้นให้ตรงกับเรือเวเฟอร์และตัวกั้นเตาเผาระหว่างการตั้งค่า

5. การกัดเซาะของสารเคมี

การสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์รุนแรงเป็นเวลานานอาจทําให้พื้นผิวควอตซ์กัดกร่อนได้

การป้องกัน:ใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและทนต่อการกัดกร่อน และตรวจสอบส่วนประกอบเป็นระยะ

เมื่อเข้าใจปัญหาทั่วไปเหล่านี้และปฏิบัติตามมาตรการป้องกัน ผู้ผลิตสามารถเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของแผ่นกั้นควอตซ์ป้องกันความร้อนได้สูงสุด เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของเวเฟอร์ที่สม่ําเสมอและผลผลิตที่ดีขึ้น